納米硬度計ZHN具備常規硬度計難以企及的試驗力和位移分辨率，從而保證了能夠針對薄膜、涂層或微小表面的綜合機械特性測試能力，包括測量壓痕硬度、壓痕模量和馬氏硬度(ISO 14577)。
ZHN裝備了二個專利型測量單元:
●法向試驗力單元(NFU)
●切向試驗力單元(LFU)
當使用一個測量單元時(法向試驗力單元)，ZHN的功能就如同深度測量方法的硬度計。但是深度位移測量單位可達到百萬分之幾范圍，最大試驗力僅2 N, 可在小于200 nm壓痕深度范圍內進行納米壓痕深度測量。
可選擇試驗力為0.2 N的測量壓頭，其數字試驗力分辨率為0.002uN。

ZHN的一個獨特地方就是第二個獨立的測量單元-切向試驗力單元，同樣具有相同的優異分辨率。如果需要，法向和切向試驗力單元可以按照實際應用進行組合，極大地擴展了測量選項。可以作為納米級劃痕試驗機、納米級磨損試驗機、疲勞試驗機、或成為高分辨率表面粗糙度測量機。
其它獨特性能:
●兩個測量單元都能執行壓縮和拉伸模式
●兩個測量單元都適用于動態測量模式，從較小的振蕩頻率直至300Hz,并可加入力信號或位移信號，允許接觸剛度的實際連續分析
●極其堅固結構，消除了任何危害傳感器的風險,并且操作簡單
●標準金剛石壓頭能夠方便地替換成其它任何形狀和任何材料的壓頭，而不會丟失精度，特別應用于一些特殊的磨損或粘合測試

ZHN結合xyz工作臺，行程為100 mm (x)，200 mm (y)和70mm(z)，其分辨率為50nm。
ZHN還包含高分辨率光學系統——2臺 照相機和1套自動聚焦系統，并且一些元件可適合客戶的需求。

其它特點:
●用戶友好的試驗軟件InspectorX
●全自動接近試驗樣品，甚至可按照試樣的高度尺寸而變化
●全自動測量,包括測量點的圖像生成，
●可以無限制預設測量點位置
●最大程度縮短試驗時間
●批次測量的每一試驗曲線可在一張曲線圖中顯示，并可分析比較
●可以編制特殊試驗程序